電漿清洗機又叫等離子清洗機，目前電漿清洗機已廣泛應用于各產業上，如：光電與半導體產業、3C與汽車零組件產業、民生與食品化工業、生醫材料產業、烤漆與黏著前處理產業等。下面介紹一下電漿清洗機的工作原理供大家參考：

電漿態

電漿態(plasma)是人類繼固、液、氣三態之外發現的物質第四態，主要是藉由氣體在高電磁場下離子化后，形成一個包括電子（帶負電荷）、正離子（偶有負離子）、活性自由基與中性氣體分子所組成的高活性氣體團，通常會自行發光。在正常狀況下，電漿中的正電荷總數約略等于負電荷總數，而具有近似電中性(Quasi-neutral)的特性，故大陸地區的科學家又稱之為“等離子體”。常見的電漿現象包括：太陽、閃電、極光、日光燈及霓虹燈等。

電漿清洗機工作原理：

常壓電漿清洗機在大氣壓下工作，通過高壓極和地級兩端施加交流高頻電壓，使兩電極之間的氣體電離而形成電漿。電漿為一部份解離的氣體，電子在電場中獲得能量后撞擊氣體分子后產生氣體解離；同時激發部份分子或原子產生高能粒子如氧原子、高能氮分子/氧分子等。這些高能量粒子具有很強的化學活性，在接觸到污染物表面時立刻與污染物反應成揮發性氣體達到清潔的目的。

電漿清洗機工作原理

由于電漿中含有各式活性物質(視所通入氣體而定)，電漿除了應用在清潔外，進一步還可用來進行材料表面處理、鍍膜與蝕刻；圖1為常壓電漿清洗機應用在表面處理的工作原理示意圖，可藉由通入含OH、NH2、COOH等氣體經過電漿解離后在基材表面形成-OH，-NH2，-COOH等官能基。圖2為觸控面板抗污膜制程中電漿表面改質應用實例：玻璃經過電漿清潔及表面改質后在玻璃表面形成-OH官能基，再涂佈上抗污膜分子后，與抗污膜分子一端的-OH產生脫水反應，最后抗污膜順利與玻璃表面產生鍵結；對照沒有電漿處理的試片發現，電漿處理大幅提升抗污膜分子與玻璃表面的附著力。

電漿清洗機清洗玻璃示意圖

以上就是電漿清洗機工作原理的簡單介紹，電漿是一個簡單又好用的技術，使用電漿清洗機來做表面處理除了增加良率外，甚至可以提高生產速度，幫業者省下不少成本。